超高真空系统的清洗处理
* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-01-08 9:09:32 * 浏览: 14
超高真空系统的清洁过程非常重要。清洁过程是否良好将直接影响最终真空的获得。良好的清洁过程可使材料的脱气率降低几个数量级。以不锈钢为例，长期暴露在大气中，未经任何处理，排气1h后的抽气率为2倍，即10 ^ -3 [Pa.m ^ 3 /（sm ^ 2）]。烘烤4h后，可达到1倍10 ^ -5 [Pa.m ^ 3 /（sm ^ 2）]，除油后清洗干净，在250°C下烘烤15h，可达到降低到1倍，10 ^ -8 [Pa.rn ^ 3 /（s.rrr ^ 2）]，将除气率降低了近五个数量级。文献详细讨论了真空清洁的原理，清洁剂，各种清洁方法和清洁方法。真空系统烘烤对于获得超高真空至关重要。设计合理的真空系统，如果没有烘烤装置，并且没有采取其他措施，则无论选择哪种类型的真空泵，例如扩散泵，涡轮分子泵，溅射离子泵，低温泵等，都是唯一的选择可获得的功压力约为10-4Pamdash，约为10-5Pa，极限真空度约为10-Pa。无论真空多么高，它都是不可能的。不锈钢z *有两种有效的加速脱气的方法：①在800°C的马士打，950°C的真空下烘烤，以及②在400°C的空气中烘烤。应在10-6Pa下进行真空烘烤，以使氢浓度升高可以将材料中的减少到最小的z *。数据[63]提出，应在2700Pa的纯氧气中进行烘烤，以避免在烘烤过程中表面上存在水蒸气。烘烤时请注意金属玻璃密封件和金属陶瓷密封件的烘烤温度不应超过400℃。铜垫片不应超过450°C。数据[16]建议玻璃烘烤温度根据类型而变化，范围从140°C到300°C，非金属材料分别为80°C和100°C，普通金属材料的温度为300℃至450℃。参考文献[64]描述了超高真空系统的烘烤方法。
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